瀚笙科技:專注於太陽能、再生能源、光電子技術及半導體市場,以革新、整合、解決為企業經營理念
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瀚笙科技:專注於太陽能、再生能源、光電子技術及半導體市場,以革新、整合、解決為企業經營理念

Laser Micro Machining 雷射精微加工系統

 
microVEGA™ xMR - 高產量磁傳感器製造選擇性雷射退火系統
 

microVEGA™ xMR 為製造整合式單晶片磁傳感器提供高產量選擇性雷射退火方案,結合高彈性與高產量的工具組態擁有動態即時光斑與可調變雷射能量,同時適用於巨磁阻 ( GMR ) 與穿隧磁阻 ( TMR ) 傳感器,亦便於調整磁性方向、傳感器位置與傳感器尺寸,使其成為生產磁傳感器的理想解決方案。

 
特色 :
  • 單一平台適用於 GMR 和 TMR 傳感器
  • 高產量:每小時最高達 50萬個傳感器
  • 極高的能量均勻性 - 提升傳感器品質
  • 適應最大 300 mm 的晶圓尺寸
  • 靈活的配方編程和廣泛的參數範圍包括脈衝能量、傳感器尺寸、
    傳感器的間距、磁性方向和磁通量
  • 系統精度:± 5 μm
  • 磁場方向(取向)精度:± 0.010°
  • 無需耗材或特定產品零件
適用於 :
調整以下兩種傳感器的磁場方向、傳感器位置和傳感器尺寸
  • 巨磁阻 ( GMR ) 傳感器
  • 穿隧磁阻 ( TMR ) 傳感器
 
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